Abstract:
З метою оптимізації параметрів створення вологочутливого шару ємнісного сенсора вологості
застосовано багатофакторний план експерименту в поєднанні з регресійним аналізом впливу фактора.
Статистична обробка результатів факторного експерименту за критерієм Кохрена довела, що факторний
експеримент є відтворюваним. Використовуючи матрицю планування повнофакторного експерименту
розроблено рівняння регресії, на основі якого встановлено, що концентрація розчину солі, яку використано для
створення вологочутливого шару, суттєво впливає на чутливість ємнісного сенсора вологості. За критерієм
Ст’юдента встановлено, що всі коефіцієнти рівняння регресії є значимими. Як критерій оптимізації параметрів
створення вологочутливого шару такого ємнісного сенсора вологості обрано чутливість. Остаточне рівняння
регресії в масштабі реальних факторів дає змогу провести оптимізацію параметрів створення вологочутливого
шару ємнісного сенсора вологості з максимальним значеннями функції відгуку – «чутливість». Встановлено, що
найбільша чутливість 36,32 пФ/% забезпечується за таких оптимальних параметрів процесу створення
вологочутливого шару: концентрації розчину солі, яка виконує функцію адсорбуючого матеріалу, а саме
гігроскопічної солі NaCl − 5,33 моль/л і товщині вологочутливого шару 10,0 мкм.
